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039 _aDIG
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_cUNAMX
_erda
084 _a001-01170-D1-2008
100 1 _aDíaz Castro, Ricardo
_esustentante
245 1 0 _aDispositivo mems térmico con proceso metal mumps /
_ctesis que para obtener el grado de Maestro en Ingeniería Eléctrica, presenta Ricardo Díaz Castro ; asesor Oleksander Martynyuk
260 _c2008
300 _a109 páginas :
_bilustraciones
336 _atexto
_2rdacontent
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_2rdamedia
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_2rdacarrier
502 _bMaestría en Ingeniería Eléctrica
_cUNAM, Facultad de Ingeniería,
_d2008
506 _aAcceso libre
650 4 _aSistemas microelectricomecánicos
_xSimulación por computadora
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700 1 _aMartynyuk, Oleksander,
_easesor
710 2 _aUniversidad Nacional Autónoma de México
_bFacultad de Ingeniería,
_einstitución que otorga el grado
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_yTexto completo.
999 _c44063
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