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082 0 4 _a621.38152
_223
245 0 0 _aHandbook of thin film deposition :
_btechniques, processes, and technologies /
_cedited by Krishna Seshan
250 _aThird edition
264 1 _aAmsterdam ;
_bElsevier ;
_c2012
300 _axviii, 392 páginas :
_bilustraciones
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_xDiseño y construcción
700 1 _aSeshan, Krishna,
_eeditor de la compilación
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