000 | 00964nam a2200265zi 4500 | ||
---|---|---|---|
005 | 20220228105322.0 | ||
008 | 130621s2012 ne a 000 0 eng | ||
020 | _a9781437778731 (empastado, cubierta dura) | ||
020 | _a1437778739 (empastado, cubierta dura) | ||
035 | _aMX001001611560 | ||
040 |
_aUKMGB _bspa _erda _cUKMGB _dUNAMX |
||
050 | 0 | 0 |
_aTK7872.T55 _bH35 2012 |
082 | 0 | 4 |
_a621.38152 _223 |
245 | 0 | 0 |
_aHandbook of thin film deposition : _btechniques, processes, and technologies / _cedited by Krishna Seshan |
250 | _aThird edition | ||
264 | 1 |
_aAmsterdam ; _bElsevier ; _c2012 |
|
300 |
_axviii, 392 páginas : _bilustraciones |
||
650 | 0 | _aPelículas delgadas | |
650 | 0 |
_aDispositivos de películas delgadas _xDiseño y construcción |
|
700 | 1 |
_aSeshan, Krishna, _eeditor de la compilación |
|
336 |
_atexto _2rdacontent |
||
337 |
_asin medio _2rdamedia |
||
338 |
_avolumen _2rdacarrier |
||
999 |
_c36962 _d36962 |