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|
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_a621.38152 _222 |
| 245 | 0 | 0 |
_aHandbook of silicon based MEMS materials and technologies / _cVeikko Lindroos ... [y otros.] |
| 264 | 1 |
_aAmsterdam : _bElsevier/William Andrew, _cc2010 |
|
| 300 |
_axxxii, 636 páginas : _bilustraciones |
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| 490 | 0 | _aMicro & nano technologies | |
| 650 | 4 | _aSistemas microelectromecánicos | |
| 650 | 4 |
_aSistemas microelectromecánicos _xMateriales |
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_aSilicio _xPropiedades eléctricas |
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| 700 | 1 |
_aLindroos, Veikko, _ecolaborador |
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_atexto _2rdacontent |
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_asin medio _2rdamedia |
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| 338 |
_avolumen _2rdacarrier |
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| 999 |
_c35499 _d35499 |
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