000 00983nam a2200277zi 4500
005 20220228105254.0
008 100310s2008 xxua 000 0 eng d
020 _a9781574446753 (papel alcalino)
020 _a1-57444-675-4 (papel alcalino)
035 _aMX001001208506
040 _aUNAMX
_bspa
_cUNAMX
_dUNAMX
050 4 _aTK7871.85
_bH347 2008
082 0 0 _a621.3815/2
_222
245 0 0 _aHandbook of semiconductor manufacturing technology /
_cedited by Robert Doering, Yoshio Nishi
250 _a2nd ed.
264 1 _aBoca Raton :
_bCRC Press,
_cc2008
300 _a1 volumen (pag. varía) :
_bilustraciones
650 4 _aSemiconductores
_xDiseño y construccion
_vManuales, etc.
650 4 _aIndustria de semiconductores
_vManuales
700 1 _aDoering, Robert,
_d1946-,
_eeditor
700 1 _aNishi, Yoshio,
_d1940-,
_eeditor
336 _atexto
_2rdacontent
337 _asin medio
_2rdamedia
338 _avolumen
_2rdacarrier
999 _c35333
_d35333