TY - MANSCPT AU - Díaz Castro,Ricardo AU - Martynyuk,Oleksander ED - Universidad Nacional Autónoma de México TI - Dispositivo mems térmico con proceso metal mumps PY - 2008/// KW - Sistemas microelectricomecánicos KW - Simulación por computadora KW - Dispositivos KW - Conmutadores eléctricos N1 - Acceso libre UR - http://132.248.9.195/pd2008/0628032/Index.html ER -