TY  - BOOK
AU  - Brand,Oliver
AU  - Dufour,Isabelle
AU  - Heinrich,Stephen M.
AU  - Josse,Fabien
TI  - Resonant MEMS: fundamentals, implementation and application 
T2  - Advanced micro and nanosystems
SN  - 9783527335459
AV  - TK7875 R47
PY  - 2015///]
CY  - Wiesbaden
PB  - Wiley-VCH Verlag
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Diseño y construcción
KW  - Microfabricación
KW  - Resonancia
ER  -