Resonant MEMS :  fundamentals, implementation and application / 
edited by Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen M. Heinrich and Fabien Josse 
 - 483 páginas :  ilustraciones 
 - Advanced micro and nanosystems .
<br/><br/><label>ISBN: </label>9783527335459 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción<br/>Microfabricación<br/>Resonancia
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7875  / R47