Bhattacharyya, Bijoy,

Electrochemical micromachining for nanofabrication, MEMS and nanotechnology / Bijoy Bhattacharyya - 270 páginas : ilustraciones

9780323327374


Sistemas microelectromecánicos
Nanotecnología
Sistemas microelectromecánicos

TJ1191.5 / E54

620.5