TY  - BOOK
AU  - Sarkar,Jaydeep
TI  - Sputtering materials for VLSI and thin film devices
SN  - 9780815515937
AV  - TK7874 S349
PY  - 2014///
CY  - Waltham [Mass.]
PB  - William Andrew
KW  - Microelectrónica
KW  - Materiales
KW  - Pulverización catódica (Metalización)
KW  - Circuitos integrados en muy gran escala
KW  - Pulverización catódica (Física)
KW  - Pantallas planas
ER  -