Sarkar, Jaydeep, <br/><br/>
Sputtering materials for VLSI and thin film devices / 
Jaydeep Sarkar 
 - x, 603 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9780815515937 0815515936 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Microelectrónica--Materiales<br/>Pulverización catódica (Metalización)--Materiales<br/>Circuitos integrados en muy gran escala--Materiales<br/>Pulverización catódica (Física)<br/>Pantallas planas--Materiales
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7874  / S349