MEMS :  fundamental technology and applications / 
edited by Vikas Choudhary, Krzysztof Iniewski 
 - xxii, 456 páginas :  ilustraciones 
 - Devices, circuits, and systems .
<br/><br/><label>ISBN: </label>9781466515819 (empastado, cubierta dura) 1466515813 (empastado, cubierta dura) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos<br/>Encapsulado microelectrónico
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7875  / M4545 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.381