TY  - BOOK
AU  - Qin,Yi
TI  - Micro-manufacturing engineering and technology
T2  - Micro & Nano Technologies
SN  - 9780815515456
AV  - TA418.9N35 M527
PY  - 2010///
CY  - Amsterdam
PB  - Elsevier, W. Andrew
KW  - Microfabricación
KW  - Nanotecnología
ER  -