TY  - BOOK
AU  - Lindroos,Veikko
TI  - Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
T2  - Micro & nano technologies
SN  - 9780815515944 (empastado, cubierta dura)
AV  - TK7875 H35
U1  - 621.38152 22
PY  - 2010///
CY  - Amsterdam
PB  - Elsevier/William Andrew
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Materiales
KW  - Silicio
KW  - Propiedades eléctricas
ER  -