Handbook of silicon based MEMS materials and technologies / 
Veikko Lindroos ... [y otros.] 
 - xxxii, 636 páginas :  ilustraciones 
 - Micro & nano technologies .
<br/><br/><label>ISBN: </label>9780815515944 (empastado, cubierta dura) 0815515944 (empastado, cubierta dura) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos<br/>Sistemas microelectromecánicos--Materiales<br/>Silicio--Propiedades eléctricas
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7875  / H35 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.38152