Handbook of semiconductor manufacturing technology /
edited by Robert Doering, Yoshio Nishi
- 2nd ed.
- 1 volumen (pag. varía) : ilustraciones
9781574446753 (papel alcalino) 1-57444-675-4 (papel alcalino)
Semiconductores--Diseño y construccion--Manuales, etc.
Industria de semiconductores--Manuales
TK7871.85 / H347 2008
621.3815/2