TY  - BOOK
AU  - Tseng,Ampere A.
TI  - Nanofabrication: fundamentals and applications 
SN  - 9789812700766 (encuadernado)
AV  - TA418.9.N35 N365
U1  - 620.5 22
PY  - 2008///
CY  - Singapore
PB  - World Scientific
KW  - Materiales nanoestructurados
KW  - Nanoestructuras
KW  - Microscopia exploradora de sondas
KW  - Litografia electronica del haz
ER  -