TY  - BOOK
AU  - Gad-el-Hak,Mohamed
TI  - MEMS: introduction and fundamentals 
T2  - Mechanical engineering series
SN  - 0849391377 (papel alcalino)
AV  - TK7875 M455
U1  - 621.381 22
PY  - 2006///
CY  - Boca Raton
PB  - CRC Press/Taylor & Francis
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Microelectrónica
KW  - Nanotecnología
ER  -