TY  - BOOK
AU  - Pelesko,John A.
AU  - Bernstein,David H.
TI  - Modeling MEMS and NEMS
SN  - 1584883065 (papel alcalino)
AV  - TK7875 P45
U1  - 621.3 21
PY  - 2003///
CY  - Boca Raton, Florida
PB  - Chapman & Hall/CRC
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Modelos matemáticos
ER  -