Pelesko, John A., <br/><br/>
Modeling MEMS and NEMS / 
John A. Pelesko and David H. Bernstein 
 - xxiii, 357 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>1584883065 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos--Modelos matemáticos
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7875  / P45 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3