TY  - BOOK
AU  - Murarka, Shyam P.,
AU  - Eizenberg,Moshe
AU  - Sinha,Ashok K.
TI  - Interlayer dielectrics for semiconductor technologies
SN  - 0-12-511221-1
AV  - TK7871.85 I576
PY  - 2003///
CY  - Amsterdam
PB  - Elsevier/Academic
KW  - Láminas semiconductoras
KW  - Dieléctricos
ER  -