TY  - BOOK
AU  - May,Gary S.
AU  - Sze,S.M.
TI  - Fundamentals of semiconductor fabrication
SN  - 0471232793
AV  - TK7871.85 M386
PY  - 2004///
CY  - New York
PB  - J. Wiley
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construcción
KW  - Circuitos integrados
ER  -