May, Gary S., <br/><br/>
Fundamentals of semiconductor fabrication / 
Gary S. May, Simon M. Sze 
 - Wiley International ed. 
 - xiii, 305 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0471232793 0-471-45238-6 (Wiley International) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductores--Diseño y construcción<br/>Circuitos integrados
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / M386