TY  - BOOK
AU  - Donovan,Robert P.
TI  - Contamination-free manufacturing for semiconductors and other precision products
SN  - 0824703804 (papel alcalino)
AV  - TK7871.85 C637
U1  - 621.3815/2 21
PY  - 2001///
CY  - New York
PB  - M. Dekker
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construcción
KW  - Defectos
ER  -