Contamination-free manufacturing for semiconductors and other precision products / 
edited by Robert P. Donovan 
 - x, 448 páginas :  ilustraciones ; 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0824703804 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductores--Diseño y construcción<br/>Semiconductores--Defectos
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / C637 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/2