TY - BOOK AU - McGeough,J.A. TI - Micromachining of engineering materials T2 - Mechanical engineering SN - 0824706447 (papel alcalino) AV - TJ1191.5 M53 U1 - 671.3/5 21 PY - 2002/// CY - New York PB - M. Dekker KW - Sistemas microelectromecánicos KW - Materiales ER -