TY  - BOOK
AU  - Ghandhi,Sorab Khushro
TI  - VLSI fabrication principles: silicon and gallium arsenide 
SN  - 0471580058 (rustica)
AV  - TK7874 G424 1994
U1  - 621.3815/2 20
PY  - 1994///
CY  - New York
PB  - J. Wiley
KW  - Circuitos integrados en muy gran escala
KW  - Silicio
KW  - Arseniuro de galio
N1  - "A Wiley-Interscience publication "; Incluye referencias bibliograficas e indices
ER  -