Jaeger, Richard C., <br/><br/>
Introduction to microelectronic fabrication / 
Richard c. jaeger 
 - 232 páginas 
 - Modular series on solid state devices ;  v. 5 .
<br/><br/><label>ISBN: </label>0201146959 # repr. with corrections 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Circuitos integrados en muy gran escala--Diseño y construcción--Congresos
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7874  / J34 1990