Universidad Nacional Autónoma de México
Facultad de Ingeniería. Posgrado
Catálogo de la Biblioteca "Dr. Enzo Levi”

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Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application / edited by Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen M. Heinrich and Fabien Josse

Colaborador(es): Brand, Oliver [editor] | Dufour, Isabelle [editor] | Heinrich, Stephen M [editor] | Josse, Fabien [editor]Tipo de material: TextoTextoSeries Advanced micro and nanosystemsEditor: Wiesbaden : Wiley-VCH Verlag, [2015]Fecha de copyright: ©2015 Descripción: 483 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9783527335459Tema(s): Sistemas microelectromecánicos -- Diseño y construcción | Microfabricación | ResonanciaClasificación LoC:TK7875 | R47
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