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Handbook of silicon based MEMS materials and technologies / Veikko Lindroos ... [y otros.]

Colaborador(es): Lindroos, Veikko [colaborador]Tipo de material: Texto

TextoSeries Micro & nano technologiesEditor: Amsterdam : Elsevier/William Andrew, c2010Descripción: xxxii, 636 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9780815515944 (empastado, cubierta dura); 0815515944 (empastado, cubierta dura)Tema(s): Sistemas microelectromecánicos | Sistemas microelectromecánicos -- Materiales | Silicio -- Propiedades eléctricasClasificación CDD: 621.38152 Clasificación LoC:TK7875 | H35

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