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Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application / edited by Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen M. Heinrich and Fabien Josse - 483 páginas : ilustraciones - Advanced micro and nanosystems .

ISBN: 9783527335459

Subjects--Topical Terms:
Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción
Microfabricación
Resonancia

LC Class. No.: TK7875 / R47