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Handbook of silicon based MEMS materials and technologies / Veikko Lindroos ... [y otros.] - xxxii, 636 páginas : ilustraciones - Micro & nano technologies .

ISBN: 9780815515944 (empastado, cubierta dura) 0815515944 (empastado, cubierta dura)

Subjects--Topical Terms:
Sistemas microelectromecánicos
Sistemas microelectromecánicos--Materiales
Silicio--Propiedades eléctricas

LC Class. No.: TK7875 / H35

Dewey Class. No.: 621.38152