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Leach, Richard K.,

Fundamental principles of engineering nanometrology / Richard K. Leach - xxvi, 321 páginas : ilustraciones - Micro and nano technologies . - Micro & nano technologies .

ISBN: 9780080964546 (encuadernado) 0080964540 (encuadernado)

Subjects--Topical Terms:
Nanotecnología
Microtecnología
Metrología

LC Class. No.: TA174.7 / L43

Dewey Class. No.: 620.50287